Applied Physics Letters
Atomic force microscope local oxidation nanolithography of graphene
Applied Physics Letters · 93, 093107 (2008)
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论文介绍
作者用原子力显微镜探针局域氧化石墨烯，在同一片材料上刻出绝缘沟槽，制成宽约 25 nm 的纳米带和亚微米环。改变刻写条件还会得到凸起而非沟槽。
阅读赏析
对器件制作者而言，形貌和电学功能必须分别检查：刻写后的凸起并不能自动充当绝缘边界。论文把凸起解释为部分氧化的结果，提示探针工艺可以改变材料，也可以切断导电路径。